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Độ chính xác: ±1-3% hoặc ±2.5μm (±1-3% hoặc ±0.1mil)
Dải đo: 0-500μm (0-20mils)
Độ phân giải: 0.1μm: 0-100μm (0.01mil: 0-5mils); 1μm: 100-500μm (0.1mil: 5-20mils)
Đầu dò Mini - 90°, dài 400mm (15.7")
Headroom tối thiểu: 16mm (0.63")
Độ dày: 7mm (0.28")
Đường kính mẫu tối thiểu: 4mm (0.16")
Đường kính bề mặt lồi tối thiểu: 6mm (0.24")
Bán kính bề mặt lõm tối thiểu: 8.5mm (0.33")
