プラズマおよび反応性ガスシステム

Giorgio Bormac OZ-30 Ozone Generator (30gr/h; with timer)

Giorgio Bormac OZ-10 Ozone Generator (10gr/h; with timer)

Lonroy Sw-003-30g オゾン発生器 (30g/h)

MKS DI-CO2 溶存炭酸ガス超純水供給システム (1 - 3 barg)

MKS DI-NH3 溶存アンモニア供給システム (1.0-3.0 barg)

MKS LIQUOZON-VariO3 LIQUOZON® オゾン水供給システム (3-90 ppm, 2-140 lpm)

MKS AX8555 SEMOZON® 4チャンネル独立型オゾン供給システム (0.5 - 5 slm)

MKS O3CS コンパクトオゾンシステム (0.5-20 slm)

MKS AX8407 高濃度・高流量オゾン発生装置SEMOZON®（セモゾン）。 (5 - 40 slm)

MKS AX8410 オゾン発生装置SEMOZON® PRIME (5 - 80 slm)

MKS AX8415 SEMOZON® 超清浄・高濃度・大流量オゾン発生装置 (2.5 - 50 slm)

MKS AX8585 SEMOZON® 先進プロセス用独立型オゾン供給システム (200 slm)

MKS AX8580 SEMOZON® 完全統合型モジュール式オゾン供給システム (50 slm)

MKS AX8575 SEMOZON®マルチチャンネルオゾンデリバリーシステム (350g/Nm3)

MKS AX2600-AX2700 マイクロ波プラズマサブシステム (1.8 / 3kW; 2440-2470MHz)

MKS AX7610S 化学下流プラズマ源 (3 kW, Sapphire)