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Measuring Range X-Axis: 15.75in 400mm
Measuring Range Y-Axis: 15.75in 400mm
Measuring Range Z-Axis: 7.78in 200mm
Resolution 0.1 µm
Measuring accuracy: E1(X,Y) = (2+3L/1000)
E1(Z) = (3+5L/1000)
E2(X,Y) = (2.5+4L/1000)
Max stage loading: -
Mass: 44lbs 20kg
Illuminations: (White LED)
Contour / Coaxial / 4-quadrant ring light
Magnification change system: Zoom optical system with 8 positions
(Standard 1.5X magnification lens)
Sensor type: High-resolution CMOS color camera
Optional objective lenrs: 1X and 2X magnification
Factory option: Series 364 (TP) Touch-Probe option
