MKS 423 冷陰極真空圧力センサー (1x10-11~1x10-2 Torr; NW40 ISO-KF)
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Sensor Type: Cold Cathode
Measurement Range: 1 x 10-11 to 1 x 10-2 Torr
Fitting Type: NW40 ISO-KF
Exposed Materials: Stainless steel, 6061 aluminum, Inconel®, glass and alumina ceramic
Repeatability: 5% of reading at constant temperature
Bake Out Temperature: 400°C (752°F) with CF flanges and magnet and cable removed
Operating Temperature: 0 - 70°C (32 - 158°F)
Calibration Gas: Air, Nitrogen
Installation Orientation: Any
Internal Volume: 0.9 in3 (15 cm3) max.
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