MKS 622D 非加熱絶対静電容量マノメーター (100 Torr; NW16 ISO-KF)
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Measurement Type: Absolute
Full Scale Range: 100 Torr
Sensor Temperature: Ambient
Fitting Type: NW16 ISO-KF
Analog Output: 0-10 VDC
Accuracy: 0.25% of Reading
Electrical Connector: Terminal block
Zero Temperature Coefficient: 0.005% Full Scale/°C
Span Temperature Coefficient: 0.04% of Reading/°C
Operating Temperature Range: 0-50°C
Resolution: 0.001% of Full Scale
Volume: 6.3 cc
Overpressure Limit: 45 psia (310 kPa)
Exposed Materials: Inconel® and Incoloy® nickel alloys
Power Requirements: ±15VDC (±5%) @ 35 mA
Compliance: CE
For specific range please check the attachment
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