MKS AX2530 SmartPower®インテリジェントマイクロ波発電機 (3kW; 2455MHz)
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ModelAX2530
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Maximum Plasma Power Output: 3.0 kW
Power Output: ±1.5% (from 20 - 100% of max. power)
Frequency: 2440 - 2470 MHz
Ripple: ±1% of output power
Ambient Temperature: Up to 40°C maximum
Generator to Head Distance: Up to 100 feet maximum
Microwave Connections: WR284F waveguide with CPR284F flanges
Power Requirements: 200/208 VAC ±10%, 3 phase, 50/60 Hz
Compliance: CE, ETL, Semi S2-93A, F47
Cooling: Water, 1.5 gpm, 30°C maximum @ 30 psid minimum, air
Power Supply Generator Dimensions: 7.0 x 19 x 23 in. (178 x 483 x 584 mm) (HxWxD)
Power Head Magnetron Head Dimensions: 10 x 7.62 x 14.5 in. (254 x 193.5 x 368.3mm) (HxWxD)
Remote Control: Analog, RS485, DeviceNet™
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