MKS DI-NH3 溶存アンモニア供給システム (1.0-3.0 barg)
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ModelDI-NH3
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Outlet Pressure: Configurable 1.0-3.0 barg (3.7barg with outlet pump)
Plumbing Materials: Liquid Wetted Surfaces: PFA, PTFE, quartz glass
Gas Wetted Surfaces: 316L stainless steel, PFA, PTFE
Communication: Binary in/out, RS232/RS485, analog 4-20 mA in/out, USB
Dimensions: Coated steel, approximately 1810 mm high, 800 mm wide, 610 mm deep (71.2 x 31.5 x 24.1 in.)
Overall height: approx. 2000 mm (79 in.)
Weight: 290-300 kg, depending on configuration
Compliance: CE, SEMI S2, SEMI F47, NRTL
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