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プラズマおよび反応性ガスシステム | EMIN.VN
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プラズマおよび反応性ガスシステム
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Giorgio Bormac OZ-30 Ozone Generator (30gr/h; with timer)
19,747,845 VND
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Giorgio Bormac OZ-10 Ozone Generator (10gr/h; with timer)
11,685,892 VND
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MKS AX7710MKS-01 Paragon® フローインテリジェントリモートプラズマ源 (8 slm; NF3)
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MKS RPS-CH24P1-P24C 高流量用リモートプラズマ源 (24 kW)
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MKS RPS-CM12P1-P12C ALD、CVD、PVDチャンバー用リモートプラズマ源 (12kW)
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MKS AX7696MKS-01 R*evolution®リモートプラズマ源 (10 slm)
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MKS HMPX60Q-MKS 高出力マイクロ波発電システム (6kW; 2440-2470MHz; Quartz)
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MKS HMPX60S-MKS 高出力マイクロ波発電システム (6kW; 2440-2470MHz; Sapphire)
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MKS HMPSQ-MKS 高出力マイクロ波発電機 (6 kW, Quartz)
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MKS HMPSS-MKS 高出力マイクロ波発電機 (6 kW, Sapphire)
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MKS AX7610Q 化学下流プラズマ源 (3kW; Quartz)
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MKS AX7610S 化学下流プラズマ源 (3 kW, Sapphire)
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MKS AX2600-AX2700 マイクロ波プラズマサブシステム (1.8 / 3kW; 2440-2470MHz)
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MKS AX8575 SEMOZON®マルチチャンネルオゾンデリバリーシステム (350g/Nm3)
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MKS AX8580 SEMOZON® 完全統合型モジュール式オゾン供給システム (50 slm)
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MKS AX8585 SEMOZON® 先進プロセス用独立型オゾン供給システム (200 slm)
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