質量流量コントローラおよび計測器

Brooks Instrument 5860i Mass Flow Meter (0.003, 30 slpm, 1500 psi / 100 bar)

Brooks Instrument 4860 質量流量計 (50 sccm~ 40 slpm)

Brooks Instrument 4850 質量流量コントローラー (50 ml/min - 40 l/min)

Brooks Instrument 5700 質量流量コントローラー＆メーター (0~50l/min, 5%)

Brooks Instrument 5850i 質量流量コントローラー (0.003, 30 slpm, 1500 psi / 100 bar)

Brooks Instrument 5850E 質量流量コントローラー (0.003 ~30 slpm, 1500 psi / 100 bar)

Brooks Instrument 5851E 質量流量コントローラー (10 ~100 lpm, 1500 psi / 103 bar)

Brooks Instrument 5860E Mass Flow Meter (5psi~50psi/0.35bar ~3.45 bar, 0.003~ 30slpm N2)

Brooks Instrument 5863 Mass Flow Meter (100, 1000 lpm, 1000 psi / 70 bar)

Brooks Instrument 5853 質量流量コントローラー (100, 1000 lpm, 1000 psi / 70 bar)

Brooks Instrument 5851i 質量流量コントローラー (10, 100 lpm, 1500 psi / 100 bar)

Brooks Instrument 5861i Gas Mass Flow Meter (10, 100 lpm, 1500 psi / 100 bar)

Brooks Instrument 5861E Mass Flow Meter (10psi ~50 psi/ 0.69 bar ~ 3.45 bar, 10 ~100lpm N2)

Brooks Instrument SLAMF50 Gas Mass Flow Controller (0.003 – 50 slpm, PROFINET, 1/4” VCR)

Brooks Instrument SLAMF50 Gas Mass Flow Controller (0.003 – 50 slpm, EtherNET/IP, 9/16 - 48 X 3/4” Sanitary)

Brooks Instrument SLAMF50 Gas Mass Flow Controller (0.003 – 50 slpm, EtherNET/IP, 9/16 - 18 X 1/2” Sanitary)