圧力コントローラーとバルブ

MKS 1651C2S ディスプレイレス デジタル圧力コントローラ (±15VDC; ±5%)

MKS 640B 統合された絶対圧力コントローラー (10 Torr; 200 sccm; Viton Valve Plug)

Aalborg VM1-BB-1A バーストック流量調節バルブ (200 [mL/min], 0.0005)

Aalborg VM2-BB-1A バーストック流量調節バルブ (400 [mL/min], 0.001)

Aalborg VM3-BB-1A バーストック流量調節バルブ (1000 [mL/min], 0.0025)

Aalborg VM4-BB-1A バーストック流量調節バルブ (2500 [mL/min], 0.0061)

Aalborg VM5-BB-1A バーストック流量調節バルブ (6200 [ml/min], 0.016)

Aalborg VM6-BB-1A バーストック流量調節バルブ (21500 [ml/min], 0.054)

Aalborg VM7-BB-1A バーストック流量調節バルブ (46090 [ml/min], 0.118)

Aalborg VM1-SV-2A バーストック流量調節バルブ (200 [mL/min], 0.0005)

Aalborg VM2-SV-2A バーストック流量調節バルブ (400 [mL/min], 0.001)

Aalborg VM3-SV-2A バーストック流量調節バルブ (1000 [mL/min], 0.0025)

Aalborg VM4-SV-2A バーストック流量調節バルブ (2500 [mL/min], 0.0061)

Aalborg VM5-SV-2A バーストック流量調節バルブ (6200 [ml/min], 0.016)

Aalborg VM6-SV-2A バーストック流量調節バルブ (21500 [ml/min], 0.054)

Aalborg VM7-SV-2A バーストック流量調節バルブ (46090 [ml/min], 0.118)