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Plasma source: Low frequency high voltage power supply
Gas Flowmeter: Oxygen gas, flow rate 30 - 300 mL/min
Reaction chamber: I.D 100mm×L160mm
Exterior dimensions/Weight: W310mm×D300mm×H448mm/Approx. 16kg
Power (50/60Hz): AC115V/220V Single phase with step-down transformer
Vacuum pump connection port: O.D 15mm with hose fitting (Recommended pump exhaust speed 30L/ min)
Gas connection port: O.D 6.35mm with hose fitting
