お得な情報を受け取る
数量割引、まとめ買い価格の更新、新製品情報をメールでお届けします。
登録することで、当社の利用規約およびプライバシーポリシーに同意したものとみなされます。
クイックサポート
認定専門家へ直接アクセス
数量割引、まとめ買い価格の更新、新製品情報をメールでお届けします。
登録することで、当社の利用規約およびプライバシーポリシーに同意したものとみなされます。
認定専門家へ直接アクセス
System: DP mode, Barrel type
High Frequency Output: Max. 500W
Oscillation Frequency: 13.56MHz
Tuning Method: Automatic tuning
Reaction Chamber: Made of quartz, ø215×305mm
Reaction Gas System: Dual system (O2/CF4)
Control system: Manual
Piping Material: SUS、Teflon
Gas inlet: 1/4" swagelok
Vacuum pump inlet: NW25
External dimensions: W438×D520×H760mm
Accessory: Vacuum grease×1 pc, O-ring for reaction chamber×1 pc
Power Source: AC115V/AC220V Single phase with step-down transformer
Weight: 53kg
Standard accessories:
Vacuum grease×1 pc.
O-ring for reaction chamber×1 pc.
Optional accessories:
Frame for wafers (2, 3, 4, 5 inches)
Multi-purpose angled frame
Aluminum etching tunnel (φ180 max.)
Vacuum pump (250L/min. or more)
