Measuring range
X-axis 1200mm
Y-axis 1200mm
Z-axis 800mm
Resolution: 0.00001mm
Guide method: Air bearing
Length measurement error (Probe MPP310Q) E0,MPE: (0.6 + 1.5L/1000) µm
Table capacity:
- Maximum workpiece height: 1056 mm
- Maximum table loading: 1000 kg
Mass (main unit): 10500kg
Datasheet
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