플라즈마 및 반응성 가스 시스템

Lonroy Sw-003-30g Ozone Generator Testing Machine (30g/h)

MKS AX8555 SEMOZON® 4채널, 독립형 오존 전달 시스템 (0.5 - 5 slm)

MKS O3CS 컴팩트 오존 시스템 (0.5-20 slm)

MKS AX8407 SEMOZON® 고농도, 고유량 오존 발생기 (5 - 40 slm)

MKS AX8410 SEMOZON® PRIME 오존 발생기 (5 - 80 slm)

MKS AX8415 SEMOZON® Ultra Clean, 고농도, 고유량 오존 발생기 (2.5 - 50 slm)

MKS AX8585 SEMOZON® Stand-alone Ozone Delivery System for Advanced Processes (200 slm)

MKS AX8580 SEMOZON® 완전 통합 모듈식 오존 전달 시스템 (50 slm)

MKS AX8575 SEMOZON® 다중 채널 오존 전달 시스템 (350g/Nm3)

MKS AX2600-AX2700 마이크로파 플라즈마 서브시스템 (1.8 / 3kW; 2440-2470MHz)

MKS AX7610S 화학적 다운스트림 플라즈마 소스 (3 kW, Sapphire)

MKS AX7610Q 화학적 다운스트림 플라즈마 소스 (3kW; Quartz)

MKS HMPSS-MKS 고출력 마이크로파 플라즈마 소스 (6 kW, Sapphire)

MKS HMPSQ-MKS 고출력 마이크로파 플라즈마 소스 (6 kW, Quartz)

MKS HMPX60S-MKS 고출력 마이크로파 플라즈마 시스템 (6kW; 2440-2470MHz; Sapphire)

MKS HMPX60Q-MKS 고출력 마이크로파 플라즈마 시스템 (6kW; 2440-2470MHz; Quartz)