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Accuracy: 2.9 μm + L / 100
Resolution: Versa: < 500nm; Ultra: < 50mm
Throughput: < 1 minute / part
X tracing driver: 100 or 200 mm
Measuring height: 250, 450 or 650 mm
Base plate: 600 x 450 mm or 1,000 x 450 mm
Datasheet
