Bộ điều khiển lưu lượng khối kỹ thuật số MKS GE300A (100 - 300 slm)

Dải đo (tương đương N2): 100 đến 300 slm

Áp suất đầu vào tối đa MFC/MFM: 150 psig (không vượt quá yêu cầu vi sai áp suất trên MFC)

Áp suất nổ: 1500 psig

Dải điều khiển: 2% đến 100% Toàn thang đo (dải đo trên mech.)

Độ chính xác điển hình: ± 1% điểm đặt cho> 20% đến 100% Toàn thang đo

                                       ± 0,25% Toàn thang đo cho 5% đến 20% Toàn thang đo

Độ lặp: ± 0,5% giá trị đọc

Độ phân giải: 0,1% Toàn thang đo

Hệ số nhiệt độ:

- Zero: <0,05% của Toàn thang đo/°C

- Span: <0,08% giá trị đọc/°C

Hệ số áp suất đầu vào: <0,03% giá trị đọc/psi trở xuống

Thời gian ổn định của bộ điều khiển điển hình: 1 đến 2 giây điển hình trên 10% Toàn thang đo tại 50 psi

Thời gian khởi động: 1 giờ

Dải nhiệt độ hoạt động (Môi trường xung quanh): 10°C đến 50°C

Độ ẩm lưu trữ: Độ ẩm tương đối 0 đến 95%, không ngưng tụ

Nhiệt độ bảo quản: -20° đến 65°C (-4° đến 149°F)

Vật liệu thấm ướt: 316L S.S. 17-7 S.S., Elgiloy®, 430FR

Tùy trọn đệm làm kín: Viton®, Buna, Neoprene®, EPDM, Viton (Tuân thủ USP Class VI)

Hoàn thiện bề mặt MFC/MFM: 16μ inch average Ra

Trọng lượng: <4,5 lbs (2,05 kg)

I/O Analog:

- Công suất đầu vào Yêu cầu: +15 đến +24 VDC tại (<4 watt)

- Tín hiệu đầu vào/đầu ra Lưu lượng: Điện áp (0 đến 5 VDC): 15 pin Loại ‘’ D ’’ male

                                                            Dòng điện (4 đến 20 mA): 15 pin Loại ‘’ D ’’ male

- Tuân thủ: CE

Thang đo chi tiết vui lòng tham khảo tài liệu đính kèm!