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等离子和反应气体系统 | EMIN.VN

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等离子和反应气体系统

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Giorgio BormacLonroyMKS

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等离子和反应气体系统

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Lonroy Sw-003-30g 臭氧发生器试验机 (30g/h)

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MKS AX8555 SEMOZON® 4通道独立臭氧输送系统 (0.5 - 5 slm)

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MKS O3CS 紧凑型臭氧系统 (0.5-20 slm)

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MKS AX8407 SEMOZON® 高浓度、高流量臭氧发生器 (5 - 40 slm)

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MKS AX8410 SEMOZON® PRIME 臭氧发生器 (5 - 80 slm)

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MKS AX8415 SEMOZON® 超清洁、高浓度、高流量臭氧发生器 (2.5 - 50 slm)

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MKS AX8585 SEMOZON® 先进工艺的独立臭氧输送系统 (200 slm)

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MKS AX8580 SEMOZON® 全集成模块化臭氧输送系统 (50 slm)

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MKS AX8575 SEMOZON® 多通道臭氧输送系统 (350g/Nm3)

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MKS AX2600-AX2700 微波等离子体子系统 (1.8 / 3kW; 2440-2470MHz)

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MKS AX7610S Downstream化学等离子体源 (3 kW, Sapphire)

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MKS AX7610Q Downstream化学等离子体源 (3kW; Quartz)

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MKS HMPSS-MKS 大功率微波等离子体源 (6 kW, Sapphire)

MKS HMPSS-MKS 大功率微波等离子体源 (6 kW, Sapphire)

MKS HMPSQ-MKS 大功率微波等离子体源 (6 kW, Quartz)

MKS HMPSQ-MKS 大功率微波等离子体源 (6 kW, Quartz)

MKS HMPX60S-MKS 大功率微波等离子体源 (6kW; 2440-2470MHz; Sapphire)

MKS HMPX60S-MKS 大功率微波等离子体源 (6kW; 2440-2470MHz; Sapphire)

MKS HMPX60Q-MKS 大功率微波等离子体源 (6kW; 2440-2470MHz; Quartz)

MKS HMPX60Q-MKS 大功率微波等离子体源 (6kW; 2440-2470MHz; Quartz)

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