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等离子和反应气体系统 | EMIN.VN

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Giorgio BormacLonroyMKS

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等离子和反应气体系统

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Giorgio Bormac OZ-30 Ozone Generator (30gr/h; with timer)

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Giorgio Bormac OZ-10 Ozone Generator (10gr/h; with timer)

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MKS AX7710MKS-01 Paragon® Flow智能远程等离子源 (8 slm; NF3)

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MKS RPS-CH24P1-P24C 用于高流量应用的远程等离子体源 (24 kW)

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MKS RPS-CM12P1-P12C ALD、CVD和PVD室的远程等离子体源 (12kW)

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MKS AX7696MKS-01 R*evolution® 远程等离子源 (10 slm)

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MKS HMPX60Q-MKS 大功率微波等离子体源 (6kW; 2440-2470MHz; Quartz)

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MKS HMPX60S-MKS 大功率微波等离子体源 (6kW; 2440-2470MHz; Sapphire)

MKS HMPX60S-MKS 大功率微波等离子体源 (6kW; 2440-2470MHz; Sapphire)

MKS HMPSQ-MKS 大功率微波等离子体源 (6 kW, Quartz)

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MKS HMPSS-MKS 大功率微波等离子体源 (6 kW, Sapphire)

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MKS AX7610Q Downstream化学等离子体源 (3kW; Quartz)

MKS AX7610Q Downstream化学等离子体源 (3kW; Quartz)

MKS AX7610S Downstream化学等离子体源 (3 kW, Sapphire)

MKS AX7610S Downstream化学等离子体源 (3 kW, Sapphire)

MKS AX2600-AX2700 微波等离子体子系统 (1.8 / 3kW; 2440-2470MHz)

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MKS AX8575 SEMOZON® 多通道臭氧输送系统 (350g/Nm3)

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MKS AX8580 SEMOZON® 全集成模块化臭氧输送系统 (50 slm)

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MKS AX8585 SEMOZON® 先进工艺的独立臭氧输送系统 (200 slm)

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